| Title: | Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů |
| Other Titles: | Computer modeling of filling the reactive gas for high pulse magnetron sputtering of metal oxides |
| Authors: | Krejčová, Milada |
| Advisor: | Pajdarová, Andrea Dagmar |
| Referee: | Kos, Šimon |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/17812 |
| Keywords: | molekulární proudění;dsmc;direct simulation monte carlo;napouštění reaktivního plynu do vakuové komory |
| Keywords in different language: | molecular flow;dsmc;direct simulation monte carlo;let reactive gas into vacuum chamber |
| Abstract: | Předkládaná diplomová práce se zabývá v úvodu využitím plazmových technologií. Dále popisuje základy měření tlaku a magnetronového naprašování, včetně reaktivní depozice. Poté se zaměřuje na modelování molekulárního proudění a jeho aplikace. Ve zvolených metodách zpracování popisuje navržení testovací úlohy - proudění v trubce a také navržením simulace napouštění reaktivního plynu do vakuové komory pomocí metody Direct Simulation Monte Carlo. Ve výsledcích jsou porovnávány teoretické hodnoty tlaku, rychlosti a průtoku pro proudění argonu v trubce s hodnotami ze simulace. Dále byl studován vliv průtoku a vzdálenosti napouštěcí trubky od terče (substrátu) s orientací otvoru směrem k terči pro simulaci napouštění reaktivního plynu (kyslíku) do vakuové komory. Také byl studován vliv okrajové podmínky a rozšíření oblasti simulace. |
| Abstract in different language: | The presented diploma thesis is at the beginning focused on application of plasma technologies. Next, it explains basics of the pressure measurement and the magnetron sputtering, including the reactive deposition and its application. In the Methodology chapter development of the test task - flow in a tube is described. There is also described development of simulation of reactive gas inlet into a vacuum chamber using Direct Simulation Monte Carlo method. Finally, the teoretic results of pressure, velocity and flow rate for flowing of oxygen in the tube are compared with results from the simulation. There is also studied an influece of the flow rate and the distance of the inlet tube from the target (substrate) with hole orientation in the inlet tube to the target. An influence of the boundary conditions and the enlargement of the simulated volume is also discussed. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| DP-Krejcova2015.pdf | Plný text práce | 15,73 MB | Adobe PDF | View/Open |
| vedouci-Krejcova_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 636,48 kB | Adobe PDF | View/Open |
| oponent-Krejcova_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 2,32 MB | Adobe PDF | View/Open |
| obhajoba-Krejcova_obhajoba.pdf | Průběh obhajoby práce | 234 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/17812Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.