| Title: | Vyšetřování optických vlastností tenké vrstvy terární sloučeniny Zn-Ti-O připraveného magnetronovým reaktivním konaprašováním Investigagion of optical properties of ternary ZN-TI-O thin films prepared by magnetron reactive co-sputtering |
| Authors: | Netrvalová, Marie Novák, Petr Šutta, Pavol Medlín, Rostislav |
| Citation: | NETRVALOVÁ, M., NOVÁK, P., ŠUTTA, P., MEDLÍN, R. Investigation of optical properties of ternary ZN-TI-O thin films prepared by magnetron reactive co-sputtering. Applied surface science, 2017, roč. 421, č. NOV 1 2017, s. 674-679. ISSN 0169-4332. |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Elsevier |
| Document type: | článek article |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/29259 |
| ISSN: | 0169-4332 |
| Keywords: | Zn-Ti-O tenká vrstva;magnetronové konaprašování;optické vlastnosti;spektroskopická elipsometrie;Cody-Lorentzův model;strukturní vlastnosti |
| Keywords in different language: | Zn-Ti-O thin film;magnetron co-sputtering;optical properties;spectroscopic ellipsometry;Cody-Lorentz model;structural properties |
| Abstract: | Tenké vrstvy Zn-Ti-O s různou koncentrací titanu byly deponovány reaktivním magnetronovým konaprašováním v reaktivní Ar/O2 atmosféře ze zinkového a titanového terče. Bylo zjišťěno, že se zvyšujícím obsahem Ti se struktura mění z plně krystalické wurzitové struktury ZnO se silnou přednostní kolumnární orientací na amorfní materiál Zn-Ti-O s 12.5 at% Ti. Optické parametry (spektrální index lomu a extinkční koeficient, optická šířka zakázaného pásu) a tloušťka vrstev byly hodnoceny kombinací elipsometrického měření a měření propustnosti na UV-Vis spektrofotometru. Pro hodnocení optických parametrů byl použit Cody-Lorentzův disperzní model. |
| Abstract in different language: | Zn-Ti-O thin films with different concentrations of titanium were deposited by reactive magnetron co-sputtering in a reactive Ar/O2 atmosphere from zinc and titanium targets. It was found that with increasing Ti content the structure of the films gradually changes from a fully crystalline pure ZnO wurtzite structure with a strongly preferred columnar orientation to an amorphous Zn-Ti-O material with 12.5 at% Ti. The optical parameters (spectral refractive index and extinction coefficient, optical band gap) and thickness of the films were analysed by the combined evaluation of ellipsometric measurements and measurements of transmittance on a UV-Vis spectrophotometer. For evaluation of optical parameters was used Cody-Lorentz dispersion model. |
| Rights: | Plný text není přístupný. © Elsevier |
| Appears in Collections: | Články / Articles (CTM) OBD |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| NETRVALOVA_1-s2.0-S0169433217307845.pdf | 2,91 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/29259Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.