| Název: | Naprašování nanokompozitních vrstev Ti-Si-O-N a jejich vlastnosti |
| Další názvy: | Sputtering of Ti-Si-O-N nanocomposite films and their properties |
| Autoři: | Zítek, Michal |
| Vedoucí práce/školitel: | Musil, Jindřich |
| Oponent: | Tölg, Tomáš |
| Datum vydání: | 2012 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/3719 |
| Klíčová slova: | Ti-Si-O-N;tenké vrstvy;reaktivní magnetronové naprašování;mechanické vlastnosti;optické vlastnosti |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | Ti-Si-O-N;thin films;reactive magnetron sputtering;mechanical properties;optical properties |
| Abstrakt: | Předmětem této práce je příprava tenkých vrstev Ti-Si-O-N pomocí DC pulzního nevyváže-ného magnetronového naprašování. Byly použity dva skládané Si-Ti terče s různým poměrem Si a Ti v erozivní zóně pro přípravu dvou sérií vzorků. Reaktivní plyn (O2) byl napouštěn pulzně. Byl zkoumán vliv pracovního cyklu při pulzním napouštění O2 na strukturu, depoziční rychlost a optické a mechanické vlastnosti. Struktura byla zkoumána rentgenovou difrakcí. Optické vlastnosti byly zjišťovány pomocí spektrofotometru a elipsometru. Mechanické vlastnosti byly určovány ze zkoušky mikrotvrdosti. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | The subject of this thesis is the deposition of Ti-Si-O-N thin films using a pulsed DC reactive unbalanced magnetron sputtering. There were used two stacked Si-Ti targets with a different ratio of Si and Ti in the erosive zone for the deposition of samples from two series. Reactive gas pulsing process was used for oxygen. The duty cycle of oxygen on structure, deposition rate, optical and mechanical properties of the obtained films have been analysed. The structure of the films was characterized by X-ray diffraction. The optical properties were investigated by spectrophotometer and ellipsometry. Mechanical properties were determined of microhardness test. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Zitek - Bakalarska prace.pdf | Plný text práce | 1,94 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Zitek_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 372,65 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Zitek_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 481,89 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Zitek_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 196,68 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/3719Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.