Title: XRD and Electron Diffraction Synergies for Textured Thin Films Structure Investigation
Other Titles: Synergie RTG a elektronové difrakce pro zkoumání strukturních vlastností texturovaných tenkých vrstev
Authors: Medlín, Rostislav
Šutta, Pavol
Novák, Petr
Citation: MEDLÍN, R.., ŠUTTA, P.., NOVÁK, P.. XRD and Electron Diffraction Synergies for Textured Thin Films Structure Investigation. In: APCOM 2019 � Applied physics of condensed matter. Spojené státy americké: American Institute of Physics Inc., 2019. ISBN 978-0-7354-1873-8 , ISSN 0094-243X.
Issue Date: 2019
Publisher: American Institute of Physics Inc.
Document type: konferenční příspěvek
conferenceObject
URI: 2-s2.0-85070552529
http://hdl.handle.net/11025/36818
ISBN: 978-0-7354-1873-8
ISSN: 0094-243X
Keywords: RTG;TEM;Elektronová difrakce;2D RTG;texturované materiály;tenké vrstvy
Keywords in different language: XRD;TEM;Electron diffraction;2D XRD;textured materials;thin films
Abstract: In this study, Titanium (Ti) doped zinc oxide (ZnO) thin films were successfully deposited by reactive magnetron co-sputtering in a reactive mode from metallic targets with different Ti concentrations (up to 9 at % of Ti) at relatively low temperatures (~ 200 °C) to investigate changes of the microstructure. Detailed crystal and local atomic structures of the films were characterized via X-ray diffraction (XRD) and on cross-section X-TEM samples on HR-TEM together with electron diffraction (ED) patterns. Obtained results revealed that substitution of Zn sites by Ti ions degrade original hexagonal wurtzite phase of ZnO with increasing doping concentrations through ZnO:Ti-like to ZnTiO3-like materials with a small amount of TiO2 (anatase phase). This study clearly suggests that investigations of textured samples by two geometries of XRD together with 1D and 2D XRD detectors have its limitations and cooperation with X-TEM ED results can lead to better understanding of highly-textured materials
V této studii byly tenké vrstvy oxidu zinečnatého (ZnO) dotované titanem (Ti) úspěšně deponovány reaktivním magnetronovým rozprašováním v reaktivním režimu z kovových materiálů s různými koncentracemi Ti (až 9 at% Ti) při relativně nízkých teplotách (~ 200 ° C) pro zkoumání změn jejich mikrostruktury. Detailní krystalová a lokální atomová struktura vrstev byly charakterizovány rentgenovou difrakcí (XRD) a na příčném řezu X-TEM pomocí HR-TEM společně s elektronovými difrakčními (ED) záznamy. Získané výsledky odhalily, že substituce Zn ionty Ti se zvyšující se koncentrací Ti dopantu degraduje původní hexagonální wurtzitovou fázi ZnO přes ZnO:Ti-fázi do ZnTiO3 podobných materiálů s malým množstvím Ti02 (anatasová fáze). Tato studie jasně naznačuje, že zkoumání strukturovaných vzorků dvěma geometriemi RTG spolu s 1D a 2D RTG detektory mají svá omezení a spolupráce s X-TEM ED měřeními mohou vést k lepšímu porozumění vlastností vysoce strukturovaných materiálů.
Rights: Plný text není přístupný. Plný text bude přístupný od 29.06.2020.
© American Institute of Physics Inc.
Appears in Collections:Konferenční příspěvky / Conference papers (RAM)
OBD

Files in This Item:
File SizeFormat 
Apcom2019-Medlin.pdf2,74 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/36818

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

search
navigation
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. OBD