| Název: | Study of copper thick film metallization on aluminum nitride |
| Autoři: | Hlína, Jiří Řeboun, Jan Hamáček, Aleš |
| Citace zdrojového dokumentu: | HLÍNA, J., ŘEBOUN, J., HAMÁČEK, A. Study of copper thick film metallization on aluminum nitride. Scripta materialia, 2020, roč. 176, č. February 2020, s. 23-27. ISSN 1359-6462. |
| Datum vydání: | 2020 |
| Nakladatel: | Elsevier |
| Typ dokumentu: | článek article |
| URI: | 2-s2.0-85072874291 http://hdl.handle.net/11025/36199 |
| ISSN: | 1359-6462 |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | ceramics;metallizations;nitrides;copper;electrical properties |
| Abstrakt v dalším jazyce: | This paper is focused on the study of copper thick film metallization on AlN. The copper metallization was realized by Thick Printed Copper (TPC) technology. The copper films were printed with a new adhesion copper paste designed for both AlN and Al2O3 substrates. Scanning electron microscopy (SEM) and energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS) analyses on cross-sections have shown that the paste adhe- sion to AlN and Al2O3 is provided by different bonding mechanisms. The influence of different adhesion mechanisms on electrical and mechanical properties as well as the morphology of copper films on AlN and Al2O3 substrates are described in this paper. |
| Práva: | Plný text je přístupný v rámci univerzity přihlášeným uživatelům. © Elsevier |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Články / Articles (RICE) Články / Articles (KET) OBD |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|
| Hlina_Study of copper.pdf | 1,95 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít Vyžádat kopii |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/36199Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.