| Title: | Pulzní magnetronová depozice vrstev Hf-Si-B-C-N |
| Other Titles: | Pulsed magnetron depozition of Hf-Si-B-C-N thin films and their properties |
| Authors: | Jandová, Jitka |
| Advisor: | Vlček, Jaroslav Kohout, Jiří |
| Referee: | Kubásek, Milan |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/12667 |
| Keywords: | pulzní depozice;magnetronové naprašování;tenké vrstvy;multikomponentní systém;diboridy přechodových kovů;hafnium;Hf-Si-B-C-(N) |
| Keywords in different language: | Pulsed deposition;magnetron sputtering;thin films;multicomponent system;diborides of transition metal;hafnium;Hf-Si-B-C-(N) |
| Abstract: | Předkládaná diplomová práce se zabývá přípravou multikomponentních tenkých vrstev Hf-Si-B-C a Hf-Si-B-C-N metodou pulzního magnetronového naprašování. Deponované vrstvy jsou následně zkoumány z hlediska prvkového složení a struktury, mechanických, tribologických, elektrických vlastností a oxidačních odolnosti. Cílem práce je především nalezení korelací mezí procesními parametry, prvkovým složením, strukturou a funkčními vlastnostmi materiálu. |
| Abstract in different language: | This thesis is focused on multicomponent Hf-Si-B-C and Hf-Si-B-C-N thin films preparation by pulsed magnetron sputtering. The elemental composition, structure, mechanical, electrical properties and oxidation resistance of deposited films were subsequently evaluated. The main aim was to find the correlations between process parameters, elemental composition, structure and functional properties of these materials. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Jandova_diplomova_prace.pdf | Plný text práce | 3,89 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Jandova_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 306,27 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Jandova_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 532,45 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Jandova_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 206,04 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/12667Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.