| Název: | Pulzní magnetronová depozice tenkovrstvých materiálů ze systému Zr-Si-B-C-N |
| Další názvy: | Pulsed magnetron deposition of Zr-Si-B-C-N thin films |
| Autoři: | Vytisk, Tomáš |
| Vedoucí práce/školitel: | Vlček, Jaroslav |
| Oponent: | Baroch, Pavel |
| Datum vydání: | 2012 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/3718 |
| Klíčová slova: | Tenké vrstvy; magnetronová depozice; naprašování; Zr-Si-B-C-N; mechanické vlastnosti; rezistivita; oxidační odolnost |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | Thin films; magnetron deposition; sputtering; Zr-Si-B-C-N; mechanical properties; resistivity; oxidation resistance |
| Abstrakt: | Tato práce popisuje současnou problematiku tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Ukazuje jakých výsledků se do této doby dosáhlo a jaké jsou další možnosti. V další části práce jsou popsány metody tvorby tenkovrstvých systémů zejména pulzní magnetronová depozice. Dále pak metody studia a hodnocení vlastností vrstev (Mechanické, elektrické vlastnosti a oxidační odolnost vrstev za vysokých teplot). V závěru práce jsou prezentovány výsledky, kterých bylo dosaženo při tvorbě Zr-Si-B-C-N vrstev. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | This work investigates current problems of thin films based on Zr and B4C. It shows present achievements and opportunities of this field of study. In next part of the work are described methods of deposition of thin films especially pulsed magnetron deposition. Furthermore methods of observation and study of properties of thin films are described. For example: mechanical and electrical properties and high temperature oxidation resistance. The results of deposition of Zr-Si-B-C-N are present at the end of the work. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Bakalarska prace Tomas Vytisk.pdf | Plný text práce | 2,12 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Vytisk_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 296,02 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Vytisk_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 485,07 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Vytisk_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 202,52 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/3718Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.