Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.authorKozák, Tomáš
dc.contributor.authorPajdarová, Andrea Dagmar
dc.contributor.authorČada, Martin
dc.contributor.authorHubička, Zdeněk
dc.contributor.authorMareš, Pavel
dc.contributor.authorČapek, Jiří
dc.date.accessioned2020-09-21T10:00:13Z-
dc.date.available2020-09-21T10:00:13Z-
dc.date.issued2020
dc.identifier.citationKOZÁK, T., PAJDAROVÁ, A. D., ČADA, M., HUBIČKA, Z., MAREŠ, P., ČAPEK, J. Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude. Plasma sources science & Technology, 2020, roč. 29, č. 6, s. „065003-1“-„065003-10“. ISSN 0963-0252.en
dc.identifier.issn0963-0252
dc.identifier.uri2-s2.0-85087763595
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/39662
dc.description.abstractBipolární HiPIMS výboj s obdélníkovým kladným pulzem (s řiditelnou amplitudou, zpožděním a délkou) byl systematicky studován pomocí hmotnostní spektroskopie. Časově průměrovaná spektra energie iontů měřené v pozici substrátu vykazují výrazný vysokoenergetický pík. Jeho polohu lze ovlivnit amplitudou kladného pulzu. Výška píku se zvětšuje s rostoucí délkou kladného pulzu a šířku píku lze slabě ovlivnit délkou zpoždění kladného pulzu. Měření potenciálu plazmatu potvrzují, že vysokoenergetický pík je tvořen ionty urychlenými zvýšeným potenciálem plazmatu během kladného pulzu. Detaily spekter energie iontů byly dále objasněny pomocí časově rozlišené hmotnostní spektroskopie.cs
dc.format10 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherIOP Publishingen
dc.relation.ispartofseriesPlasma Sources Science & Technologyen
dc.rightsPlný text není přístupný.cs
dc.rights© IOP Publishingen
dc.subjectHiPIMScs
dc.subjectbipolární HiPIMScs
dc.subjectkladný pulzcs
dc.subjectdiagnostika plazmatucs
dc.subjecthmotnostní spektroskopiecs
dc.titleIon energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitudeen
dc.title.alternativeRozdělení energií iontů na substrátu během bipolární HiPIMS depozice: vliv zpoždění, délky a amplitudy kladného pulzucs
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.rights.accessclosedAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedA bipolar HiPIMS discharge with a rectangular positive voltage pulse (with controllable amplitude, delay after the main negative pulse and positive pulse length) was systematically investigated by mass spectroscopy. The time-averaged spectra of ions measured at the substrate position exhibit a prominent high-energy peak. It is shown that the position of the peak can be varied by the positive pulse amplitude, its magnitude scales with the pulse length and its width can be slightly influenced by the length of the delay interval. Measurements of the plasma potential at the mass spectrometer position and time-resolved mass spectroscopy clearly show that the high-energy peak is formed by ions accelerated by the elevated plasma potential during the positive pulse. In addition, fine details of the ion energy distribution functions related to the plasma potential transients at the start of the positive pulse are identified. The presented results are beneficial for the optimization of the parameters of the positive pulse in experiments implementing the bipolar HiPIMS technology.en
dc.subject.translatedHiPIMSen
dc.subject.translatedbipolar HiPIMSen
dc.subject.translatedpositive pulseen
dc.subject.translatedplasma diagnosticsen
dc.subject.translatedmass spectroscopyen
dc.identifier.doi10.1088/1361-6595/ab8fbb
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.identifier.document-number541901800001
dc.identifier.obd43929721
dc.project.IDFV30177/Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálůcs
dc.project.IDEF17_048/0007267/InteCom: VaV inteligentních komponent pokročilých technologií pro plzeňskou metropolitní oblastcs
Vyskytuje se v kolekcích:Články / Articles (NTIS)
OBD

Soubory připojené k záznamu:
Soubor VelikostFormát 
OBD20_Kozak,Pajdarova_clanek.pdf2,14 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít  Vyžádat kopii
Zobrazit minimální záznam Zobrazit statistiky


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/39662

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.

hledání
navigace
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. OBD