| Title: | Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude |
| Other Titles: | Rozdělení energií iontů na substrátu během bipolární HiPIMS depozice: vliv zpoždění, délky a amplitudy kladného pulzu |
| Authors: | Kozák, Tomáš Pajdarová, Andrea Dagmar Čada, Martin Hubička, Zdeněk Mareš, Pavel Čapek, Jiří |
| Citation: | KOZÁK, T., PAJDAROVÁ, A. D., ČADA, M., HUBIČKA, Z., MAREŠ, P., ČAPEK, J. Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude. Plasma sources science & Technology, 2020, roč. 29, č. 6, s. „065003-1“-„065003-10“. ISSN 0963-0252. |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | IOP Publishing |
| Document type: | článek article |
| URI: | 2-s2.0-85087763595 http://hdl.handle.net/11025/39662 |
| ISSN: | 0963-0252 |
| Keywords: | HiPIMS;bipolární HiPIMS;kladný pulz;diagnostika plazmatu;hmotnostní spektroskopie |
| Keywords in different language: | HiPIMS;bipolar HiPIMS;positive pulse;plasma diagnostics;mass spectroscopy |
| Abstract: | Bipolární HiPIMS výboj s obdélníkovým kladným pulzem (s řiditelnou amplitudou, zpožděním a délkou) byl systematicky studován pomocí hmotnostní spektroskopie. Časově průměrovaná spektra energie iontů měřené v pozici substrátu vykazují výrazný vysokoenergetický pík. Jeho polohu lze ovlivnit amplitudou kladného pulzu. Výška píku se zvětšuje s rostoucí délkou kladného pulzu a šířku píku lze slabě ovlivnit délkou zpoždění kladného pulzu. Měření potenciálu plazmatu potvrzují, že vysokoenergetický pík je tvořen ionty urychlenými zvýšeným potenciálem plazmatu během kladného pulzu. Detaily spekter energie iontů byly dále objasněny pomocí časově rozlišené hmotnostní spektroskopie. |
| Abstract in different language: | A bipolar HiPIMS discharge with a rectangular positive voltage pulse (with controllable amplitude, delay after the main negative pulse and positive pulse length) was systematically investigated by mass spectroscopy. The time-averaged spectra of ions measured at the substrate position exhibit a prominent high-energy peak. It is shown that the position of the peak can be varied by the positive pulse amplitude, its magnitude scales with the pulse length and its width can be slightly influenced by the length of the delay interval. Measurements of the plasma potential at the mass spectrometer position and time-resolved mass spectroscopy clearly show that the high-energy peak is formed by ions accelerated by the elevated plasma potential during the positive pulse. In addition, fine details of the ion energy distribution functions related to the plasma potential transients at the start of the positive pulse are identified. The presented results are beneficial for the optimization of the parameters of the positive pulse in experiments implementing the bipolar HiPIMS technology. |
| Rights: | Plný text není přístupný. © IOP Publishing |
| Appears in Collections: | Články / Articles (NTIS) OBD |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| OBD20_Kozak,Pajdarova_clanek.pdf | 2,14 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/39662Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.