Název: Multikomponentní keramické vrstvy připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Další názvy: Multicomponent ceramic films prepared by pulsed magnetron sputtering
Autoři: Kubásek, Tomáš
Vedoucí práce/školitel: Mareš, Pavel
Oponent: Soukup, Zbyněk
Datum vydání: 2015
Nakladatel: Západočeská univerzita v Plzni
Typ dokumentu: bakalářská práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/17811
Klíčová slova: vrstvy m-b-c-n;nanokompozitní materiály;pulzní magnetronové naprašování;tvrdost;vnitřní pnutí
Klíčová slova v dalším jazyce: m-b-c-n films;nanocomposite materials;pulsed magnetron sputtering;hardness;internal stress
Abstrakt: Tato práce se zabývá tvrdými multikomponentními tenkými vrstvami M-B-C-N (M = Ti, Zr, Hf) připravenými pulzním magnetronovým naprašováním. Celkem byly připraveny čtyři vrstvy. Měřena byla jejich prvková a fázová složení, mechanické vlastnosti a elektrická rezistivita. Cílem práce bylo prozkoumat, jaký má vliv volba přechodového kovu M na strukturu a vlastnosti materiálu. Bylo zjištěno, že přechod od Ti k Zr a Hf vede k utváření tuhých roztoků MBxCyN1 x y a amorfní struktura Ti-B-C-N přechází v nanokrystalické Zr-B-C-N a Hf-B-C-N. Touto přeměnou se zvyšuje tvrdost, poměr H/E* a elastická vratnost vrstev. Vrstvy vykazovaly nízké vnitřní pnutí a vysokou elektrickou vodivost.
Abstrakt v dalším jazyce: This thesis deals with hard multicomponent thin films M-B-C-N (M = Ti, Zr, Hf) prepared by pulsed magnetron sputtering. Four films in total were created and their elemental and structural compositions, mechanical properties and electrical resistivity were measured. The focus of this paper was to examine the effect of the choice of transition metal M on material structure and properties. It was found that the transition from Ti to Zr and Hf leads to forming of solid solutions MBxCyN1 x y and the amorphous Ti-B-C-N transforms to nanocrystalline Zr-B-C-N and Hf-B-C-N. This change in structure leads to increased hardness, H/E* ratio and elastic recovery of the films. All materials exhibited low internal stress and high electrical conductivity.
Práva: Plný text práce je přístupný bez omezení.
Vyskytuje se v kolekcích:Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
A12B0597P_BP.pdfPlný text práce5,11 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
vedouci-Kubasek_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce314,18 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
oponent-Kubasek_oponent.pdfPosudek oponenta práce634,87 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
obhajoba-Kubasek_obhajoba.pdfPrůběh obhajoby práce236,71 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/17811

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.