| Title: | Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev |
| Authors: | Šula, Michal Kozák, Tomáš |
| Citation: | LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2016, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2016, s. 55-56. ISBN 978-80-261-0621-0. |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | konferenční příspěvek conferenceObject |
| URI: | http://svk.fav.zcu.cz/download/sbornik_svk_2016.pdf http://hdl.handle.net/11025/21403 |
| ISBN: | 978-80-261-0621-0 |
| Keywords: | Monte Carlo;reaktivní magnetronové naprašování;plyn |
| Keywords in different language: | Monte Carlo;reactive magnetron sputtering;gas |
| Rights: | © Západočeská univerzita v Plzni |
| Appears in Collections: | Studentská vědecká konference 2016 Studentská vědecká konference 2016 |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/21403Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.