| Title: | Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev |
| Authors: | Lerchová, Tereza |
| Advisor: | Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D. |
| Referee: | Kozák Tomáš, Ing. Ph.D. |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/28564 |
| Keywords: | plazma;hipims;vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování;depozice tenkých vrstev;modelování;simulace;rozprašování kovů;parametrický model |
| Keywords in different language: | plasma;hipims;high power impulse magnetron sputtering;deposition of thin films;modelling;simulation;sputtering of metals;parametric model |
| Abstract: | Předkládaná bakalářská práce se v úvodu věnuje problematice plazmatu a plazmových technologií. V další kapitole popisuje současný stav problematiky na poli modelování výbojů plazmatu během depozice tenkých vrstev. Tato kapitola také obsahuje stručný popis dvou výchozích modelů pro tvorbu rozšířeného parametrického modelu. Dále se práce věnuje metodám zpracování, kde jsou uvedeny odvození rovnic použitých v rozšířeném modelu a volba parametrů. Je zde také uvedeno, jak byly předcházející modely doplněny. V poslední kapitole jsou ukázány výsledky rozšířeného modelu pro dva výbojové režimy a tyto výsledky jsou zde také diskutovány. Diskuse se opírá o experimentální data naměřená u nás na katedře, nebo převzatá z odborné literatury. |
| Abstract in different language: | At the beginning, the presented bachelor's thesis is focused on the plasma medium and plasma technologies. Next, it describes the current state in the field of modelling of plasma discharges during the deposition of thin films. This chapter also contains a brief description of two models used for the creation of an extended parametric model. Furthermore, the work deals with the used methodology, which presents the derivation of the equations used in the extended model, and parameter selection. There is also referred, how the previous models were extended. In the last chapter, there are shown and discussed results of the extended model for two discharge regimes. The discussion is based on the experimental data measured at our department, or taken from the literature. Key words: |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| BP_T.Lerchova.pdf | Plný text práce | 1,77 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Lerchova_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 2,05 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Lerchova_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 877,76 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Lerchova_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 219,33 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/28564Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.