| Název: | Simulace transportu rozprášených atomů v magnetronových výbojích |
| Autoři: | Bělohoubek, Marek |
| Vedoucí práce/školitel: | Kozák Tomáš, Ing. Ph.D. |
| Oponent: | Pajdarová Andrea Dagmar, Mgr. Ph.D. |
| Datum vydání: | 2018 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/32973 |
| Klíčová slova: | magnetronové naprašování;metoda direct simulation monte carlo;transport rozprášených atomů;zřeďování pracovního plynu |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | magnetron sputtering;method of direct simulation monte carlo;transportation of sputtered atoms;dilution of the working atmosphere |
| Abstrakt: | Tato práce se zabývá simulací transportu neutrálních částic v magnetronových výbojích za nízkých tlaků. Zkoumá procesy v prostoru zadané geometrie a popisuje chování pracovního plynu během rozprašování kovového terče. V práci je shrnuta teorie magnetronového naprašování a numerické metody Direct Simulation Monte Carlo a popsán princip a možnosti použitého programu, který implementuje tuto metodu. Jsou provedeny simulace rozprašování titanu v argonové atmosféře při konstantním i pulzním výbojovém proudu. Je vypočítán celkový tok atomů terčového materiálu na substrát a rozdělovací funkce jejich energie. Diskutován je vliv fyzikálních veličin tlaku pracovního plynu a výbojového proudu a citlivost výsledků na vybraných parametrech numerického modelu. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | The main subject of this thesis is a simulation of transport of neutral particles in magnetron discharges at low pressure. It focuses on processes in the specified geometry and describes interaction of argon process gas with the sputtered metal. The theory of magnetron sputtering and of the Direct Simulation Monte Carlo numerical method is described. A computer program implementing this method is used for simulations of sputtering of a titanium target in argon atmosphere by constant and pulsed discharge currents. The total flux of atoms onto a substrate and their energy distribution is calculated. The effect of argon pressure and discharge current, as well as the effect of selected parameters of the numerical model are discussed. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| BP_Belohoubek.pdf | Plný text práce | 6,97 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Belohoubek_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 461,99 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Belohoubek_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 991,53 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| Belohoubek_obhajoba.pdf | Průběh obhajoby práce | 223,49 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/32973Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.