Title: Příprava a charakterizace naprašovaných ZnO vrstev pro flexibilní piezogenerátor.
Authors: Němec, Josef
Advisor: Bláhová Olga, Doc. Ing. Ph.D.
Referee: Očenášek Jan, Ing. Ph.D.
Issue Date: 2019
Publisher: Západočeská univerzita v Plzni
Document type: diplomová práce
URI: http://hdl.handle.net/11025/37618
Keywords: energy harvesting;piezoelektrický jev;nanogenerátor napětí;oxid zinečnatý;magnetronové naprašování;rtg difrakce;zbytkové napětí
Keywords in different language: energy harvesting;piezoelectricity;nanogenerator;zinc oxide;magnetron sputtering;rtg;residual stress
Abstract: Tato diplomová práce má za cíl optimalizovat depozici piezoelektrické vrstvy ZnO pro použití ve flexibilním piezogenerátoru. V úvodu práce je stručný úvod do technologií, které získávají volnou energii z okolí a mění ji na elektrickou energii, dále je popsána podstata piezoelektrického principu. Podrobně je popsán postupný vývoj nanogenerátoru napětí zejména na bázi ZnO nanostruktur. Oxidu zinečnatému je věnována také jedna kapitola. V experimentální části je zjišťován vliv koncentrace kyslíku, depozičních teplot a dvou základních substrátů na napětí ve vrstvách. V práci jsou hodnoceny výsledky RTG difrakční analýzy a výsledky z měření reziduálního napětí ve vrstvách. Dále jsou hodnoceny optické a elektrické vlastnosti.
Abstract in different language: This thesis aims to optimize the deposition of the piezoelectric ZnO layer for use in a flexible piezo devices. There is introduction to technologies that acquire free energy from the environment and transform it into electrical energy in the introduction of this thesis. The next part describes the essence of piezoelectric principle. The gradual development of the voltage nanogenerator, especially based on ZnO nanostructures, is described in detail. One chapter is also devoted to zinc oxide. One chapter is also devoted to zinc oxide In the experimental part the influence of oxygen concentration, deposition temperatures and two basic substrates on stress in layers is investigated. The results of X-ray diffraction analysis and results from the residual stress measurements in layers are evaluated. Also optical and electrical properties of these layers are investigated.
Rights: Plný text práce je přístupný bez omezení
Appears in Collections:Diplomové práce / Theses (KMM)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
DP_Bc_Josef_Nemec.pdfPlný text práce1,81 MBAdobe PDFView/Open
H_Nemec.pdfPrůběh obhajoby práce695,71 kBAdobe PDFView/Open
Hodnoceni_Josef Nemec_S17N0049P.pdfPosudek vedoucího práce460,38 kBAdobe PDFView/Open
OP_Josef Nemec_S17N0049P.pdfPosudek oponenta práce798,85 kBAdobe PDFView/Open


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/37618

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.