| Title: | Příprava a charakterizace naprašovaných ZnO vrstev pro flexibilní piezogenerátor. |
| Authors: | Němec, Josef |
| Advisor: | Bláhová Olga, Doc. Ing. Ph.D. |
| Referee: | Očenášek Jan, Ing. Ph.D. |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/37618 |
| Keywords: | energy harvesting;piezoelektrický jev;nanogenerátor napětí;oxid zinečnatý;magnetronové naprašování;rtg difrakce;zbytkové napětí |
| Keywords in different language: | energy harvesting;piezoelectricity;nanogenerator;zinc oxide;magnetron sputtering;rtg;residual stress |
| Abstract: | Tato diplomová práce má za cíl optimalizovat depozici piezoelektrické vrstvy ZnO pro použití ve flexibilním piezogenerátoru. V úvodu práce je stručný úvod do technologií, které získávají volnou energii z okolí a mění ji na elektrickou energii, dále je popsána podstata piezoelektrického principu. Podrobně je popsán postupný vývoj nanogenerátoru napětí zejména na bázi ZnO nanostruktur. Oxidu zinečnatému je věnována také jedna kapitola. V experimentální části je zjišťován vliv koncentrace kyslíku, depozičních teplot a dvou základních substrátů na napětí ve vrstvách. V práci jsou hodnoceny výsledky RTG difrakční analýzy a výsledky z měření reziduálního napětí ve vrstvách. Dále jsou hodnoceny optické a elektrické vlastnosti. |
| Abstract in different language: | This thesis aims to optimize the deposition of the piezoelectric ZnO layer for use in a flexible piezo devices. There is introduction to technologies that acquire free energy from the environment and transform it into electrical energy in the introduction of this thesis. The next part describes the essence of piezoelectric principle. The gradual development of the voltage nanogenerator, especially based on ZnO nanostructures, is described in detail. One chapter is also devoted to zinc oxide. One chapter is also devoted to zinc oxide In the experimental part the influence of oxygen concentration, deposition temperatures and two basic substrates on stress in layers is investigated. The results of X-ray diffraction analysis and results from the residual stress measurements in layers are evaluated. Also optical and electrical properties of these layers are investigated. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Diplomové práce / Theses (KMM) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| DP_Bc_Josef_Nemec.pdf | Plný text práce | 1,81 MB | Adobe PDF | View/Open |
| H_Nemec.pdf | Průběh obhajoby práce | 695,71 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Hodnoceni_Josef Nemec_S17N0049P.pdf | Posudek vedoucího práce | 460,38 kB | Adobe PDF | View/Open |
| OP_Josef Nemec_S17N0049P.pdf | Posudek oponenta práce | 798,85 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/37618Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.