| Title: | Reaktivní magnetronová depozice vybraných oxidových vrstev a jejich vlastnosti |
| Other Titles: | Reactive magnetron sputtering of selected oxide films and their properties |
| Authors: | Šatava, Václav |
| Advisor: | Musil, Jindřich |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | disertační práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/5441 |
| Keywords: | Reaktivní magnetronová depozice;Al-Ti-O;Si-Zr-O;tepelná stabilita;vypařování |
| Keywords in different language: | Reactive magnetron sputtering;Al-Ti-O;Si-Zr-O;thermal stability;evaporation |
| Abstract: | Hlavní cíl této dizertační práce bylo zkoumání vlivu teploty (až do 1700°C) na strukturu a vlastnosti žíhaných vrstev Al-Ti-O a Si-Zr-O připravené pomocí reaktivního magnetronového naprašování. Poslední část této práce je zaměřena na zvýšení depoziční rychlosti kombinací procesů reaktivního naprašování a napařování z nataveného terče magnetronu. Tímto kombinovaným procesem byly připraveny velmi vysokou depoziční rychlostí (až 814 nm/min)transparentní amorfní SiO2 vrstvy s nízkým obsahem Zr. |
| Abstract in different language: | The main aim of this dissertation thesis was investigation of influence of temperature (up to 1700°C) on structure and mechanical properties of annealed of films Al-Ti-O and Si-Zr-O prepared by reactive magnetron sputtering. The last part of this dissertation thesis is high deposition rate-oriented by combination of process of reactive sputtering and evaporation from molten target. With this combined process were prepared with very high deposition rate (up to 814 nm/min) transparent amorphous SiO2 films with low content Zr. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Disertační práce / Dissertations (KMA) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Dizertacni prace.pdf | Plný text práce | 2,28 MB | Adobe PDF | View/Open |
| posudek-skolitel-satava.pdf | Posudek vedoucího práce | 32,43 kB | Adobe PDF | View/Open |
| posudky-odp-satava.pdf | Posudek oponenta práce | 136,82 kB | Adobe PDF | View/Open |
| zapis-odp-satava.pdf | Průběh obhajoby práce | 43,47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/5441Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.