| Title: | Multikomponentní povlaky připravené pulzním reaktivním mangetronovým naprašováním |
| Other Titles: | Multicomponent coatings prepared by pulsed reactive magnetron sputtering |
| Authors: | Procházka, Michal |
| Advisor: | Vlček, Jaroslav |
| Referee: | Kubásek, Milan |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/17814 |
| Keywords: | vrstvy hf-si-b-c-n;pulzní magnetronové naprašování;tvrdost;oxidační odolnost |
| Keywords in different language: | hf-si-b-c-n films;pulsed magnetron sputtering;hardness;oxidation resistance |
| Abstract: | Vrstvy na bázi HfB2 jsou známé vysokou tvrdostí, nízkou rezistivitou a oxidační odolností. Díky těmto vlastnostem jsou užitečné v mnoha průmyslových odvětvích. Tato práce je zaměřena na oxidační odolnost vrstev Hf-Si-B-C-N a na její změnu vlivem přidávání dusíku do pracovního plynu. V teoretické části je popsán princip ochrany před oxidací a metody vytváření a analýzy tenkých vrstev. Výsledková část pak popisuje depoziční parametry, mechanické, elektrické, optické a tribologické vlastnosti a oxidační odolnost vrstev Hf Si B C N. |
| Abstract in different language: | HfB2-based thin layers are well known for its high hardness, low electrical resistivity and oxidation resistance. Due to these properties the films are useful in many industrial applications. This study is focused on oxidation resistance of Hf-Si-B-C-N thin films and its change caused by addition of nitrogen into the working gas. The principle of protection against oxidation and methods of forming and analysis of thin films are described in the theoretical part. The final section describes the deposition parameters, mechanical, electrical, optical and tribological properties and oxidation resistance of Hf-Si-B-C-N thin films. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Diplomova prace - Michal Prochazka.pdf | Plný text práce | 8,55 MB | Adobe PDF | View/Open |
| vedouci-ProchazkaM_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 304,8 kB | Adobe PDF | View/Open |
| oponent-ProchazkaM_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 726,54 kB | Adobe PDF | View/Open |
| obhajoba-ProchazkaM_obhajoba.pdf | Průběh obhajoby práce | 230,92 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/17814Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.